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天晶12英寸蓝宝石衬底量产，可满足MicroLED制造需求

2025-07-16 10:54:15 [编辑：MiaHuang]

据投影时代报道，江苏天晶智能装备有限公司（以下简称“天晶智能装备”）宣布，其自主研发的12英寸蓝宝石衬底与载体晶圆已同步实现规模化量产，年产能达10万片，良率超97%。

此次量产的12英寸蓝宝石衬底直径控制精度为300±0.5mm，表面粗糙度为0.2纳米，位错密度≤500 cm?2，可耐受2050℃高温，可满足GaN外延、Micro LED等高端器件的制造需求。

12英寸蓝宝石衬底通过独创的超高速金刚石线切割技术（线速3000米/分钟）与磁控溅射工艺，产品外延层位错密度降低80%，提升LED芯片发光效率。

天晶智能装备

图片来源：天晶智能装备

资料显示，天晶智能装备于2015年在深圳创立，起步便专注智能装备领域。2019 年，公司在徐州设立生产总部，2024 年，为扩大规模，工厂迁至淮安，同年在福建水头镇成立分公司，完成全国布局。（LEDinside整理）

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