璨圆光电采用爱思强新型的19x4英吋CRIUS® II-XL反应器

爱思强股份有限公司今日宣布,台湾的璨圆光电股份有限公司将安装19x4英吋规格的CRIUS® II-XL反应器。此订单于3Q11接获,原为CRIUS® II-L型号,但在爱思强推出全新XL规格后随即转换为这款新机型。爱思强将在4Q11交付新型的反应器。

所添置的CRIUS® II-XL反应器会用于量产基于InGaN材料的高亮度蓝光LED外延片制造。爱思强当地的技术支持团队将会在该公司位于台湾的技术先进的厂房进行新反应器的安装和调试。

璨圆光电董事长简奉任博士表示:“购买这种可生产四英吋晶圆的喷淋头系统,代表璨圆光电发展的一个里程碑。最初,我们一直考虑采用CRIUS® II-L作为我们实施下一阶段扩展计划的备选工具。在最近推出XL型号的反应器后,我们对这款19x4英吋规格反应器的性能深感满意。鑑于我们长期良好的合作关系,璨圆光电的技术团队对爱思强的技术和服务均十分信赖,因此我们将迅速与爱思强展开紧密合作,以确保这系统在各方面皆成功。”

爱思强的首席运营官Bernd Schulte博士补充道:“CRIUS® II-XL系统能达到世界最高的产量和生产效率,是爱思强享负盛名的CRIUS®系列产品的最新出品。CRIUS® II的任何现有制程都能顺利地转换至CRIUS® II-XL反应器。从一个芯片规格转换至另一个规格仅需要更换底板,而无需作出进一步的硬件或程序调整。这些特性能很好地帮助芯片制造商严格控制InGaN LED的生产成本。”

璨圆光电创立于1999年11月,为高亮度InGaN LED外延和芯片的专业制造商。目前,该公司市场涵括台湾、韩国、香港、美国和中国等,可提供高亮度InGaN蓝光、绿光和紫外光LED等的全频谱LED产品。

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