芯矽科技光波导全自动清洗线出货，拓展湿法设备应用场景

11月9日，苏州芯矽电子科技有限公司（以下简称“芯矽科技”）宣布，其光波导清洗项目全自动清洗线完成整线装配与调试，正式出货。此次交付涵盖有机去胶、刻蚀两大核心工艺段，配套CDS集中供液系统、马兰戈尼干燥单元及纯水加热单元，将用于光波导清洗产线建设。

图片来源：芯矽科技

据了解，此次交付的设备以全自动有机去胶清洗机和全自动刻蚀清洗机为主体。其中，CDS集中供液系统用于保障药液输送的精准性与稳定性，马兰戈尼干燥单元用于提升干燥效率、减少表面水痕，纯水加热单元则保障清洗用水温度的一致性。

光波导制造涉及精密加工及表面处理等工序，对表面洁净度、颗粒残留和药液均匀性具有较高要求。湿法清洗设备主要承担去胶、刻蚀及清洁等工艺环节，其设备稳定性和工艺控制能力关系到光学元件的加工质量。此次芯矽科技交付整线设备，也意味着其湿法清洗设备进一步拓展至光波导制造领域。

据了解，芯矽科技是一家位于苏州工业园区的高新技术企业，专注于半导体湿法设备研发与制造，产品覆盖实验室研发级至全自动量产级设备，主要包括槽式清洗机、单片清洗机、炉管及石英清洗设备、晶圆化学镀设备，以及高纯化学品和研磨液供应回收系统等。

目前，芯矽科技已进入长江存储、中芯国际、重庆华润、上海华虹、上海积塔、上海格科、广东粤芯、青岛芯恩、厦门士兰等企业的供应链，业务覆盖国内8英寸、12英寸晶圆制造产线。

光波导产能建设提速，设备需求向上游延伸

芯矽科技此次拓展光波导清洗业务，与近年来AR眼镜产业链加快产能建设的趋势有关。随着AR眼镜产品迭代及市场需求增长，光波导企业陆续推进产线建设，相关投资也从光学器件制造向材料、设备及配套工艺环节延伸。

今年以来，多家企业加快光波导及微纳光学产能布局。例如，歌尔奥来投资约32.8亿元建设上海临港12英寸AR微纳光学晶圆项目，布局AR波导片、电致变色镜片及微透镜阵列等产品，项目于今年6月投产。

光波导企业也在加快规模化布局。6月，尼卡光学全球首条百万片级体全息光波导自动化产线在天津投产，年产能达到100万片。9月，光舟半导体光波导模组生产基地在无锡正式投产，规划满产后年产能达100万套。10月，谷东智能宣布计划在深圳建设百万级PVG光波导工厂，进一步扩大光波导制造规模。（LEDinside整理）

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