广工团队联合迈为科技在Mini/MicroLED技术上取得重要突破

不久前，广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室传来突破性进展。陈新/陈云教授团队联合苏州迈为科技股份有限公司等行业龙头企业，在Mini/MicroLED显示领域关键核心技术与装备研发上取得重大突破，相关成果已实现产业化应用，助力我国新型显示产业高质量发展。

Mini/Micro LED 作为新一代显示技术，兼具高亮度、高对比度、低功耗等优势，符合 “双碳” 战略导向，在消费电子、高端显示等领域市场潜力巨大。然而，高效率、高良率的芯片巨量转移及键合技术，长期以来是国际技术竞争焦点。

在国家重点研发计划 “智能机器人” 专项支持下，广东工业大学团队发明二维高频协同飞行刺晶新原理，通过 “飞行刺晶提速度、宏微复合保精度、定向补偿增良率” 的技术组合拳，构建起覆盖转移方法、键合工艺、核心部件、系统控制的全链条自主技术体系。针对更小尺寸的 Micro LED 转移难题，团队进一步突破高速精密对位、激光工艺协同、误差补偿等关键技术，累计获得 20 余项中美发明专利授权。

通过与泛半导体装备头部企业苏州迈为股份的深度产学研合作，科研成果迅速转化为现实生产力。双方联合研发的飞行刺晶巨量转移机器人，实现了性能指标的跨越式提升，显著降低原材料消耗与制造成本。

该装备不仅在技术指标上达到国际领先水平，更实现了 Mini LED 巨量转移生产线的批量出货，为我国显示产业装上 “中国芯”。目前，相关装备已在大屏显示、会议一体机、家庭影院等商用与消费场景中规模化应用，推动我国高清显示产业升级。

在突破 Mini LED 技术的同时，广东工业大学和苏州迈为股份子公司迈为技术（珠海）有限公司组成的联合攻关团队，瞄准 Micro LED 前沿领域，实现激光剥离、巨转、键合、修复等设备国产化，G3.5 代线激光键合设备已交付客户。团队首创硅基 Micro LED 混合键合晶圆重构整体解决方案，覆盖晶圆研抛、飞秒激光切割、等离子体加工、混合键合等全流程关键设备，将半导体集成技术与新型显示创新融合，为超高清显示大规模量产开辟了新路径。（来源：人民日报）

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