Smartkem获MicroLED微显示专利，优于单片式制造方法

6月24日，英国有机薄膜晶体管（OTFT）材料开发商Smartkem宣布，获得了一项Micro LED显示器制造新方法的专利，该专利涉及在Micro LED晶圆上图案化OTFT背板，并选择性移除Micro LED。
 

图片来源：Smartkem

Smartkem董事长Ian Jenks表示，公司已建立起强大的知识产权组合，涵盖17个专利族的共140项已授权专利。本次新获得的专利是一项创新性的Micro LED显示制造技术，不仅提升了制造效率，还大幅降低了材料浪费和生产成本。

据介绍，新专利技术提供了一种比传统单片式（monolithic）Micro LED显示器制造方式更高效、且可持续的替代方案。其原理为仅将所需的Micro LED从生长基底选择性转移至显示基底，而非在单一基底上制造整个显示器。

具体过程包括：首先准备Micro LED晶圆并施加粘附层，使选定的Micro LED裸露，接着在粘附层上沉积OTFT背板，并精准对位以连接裸露的Micro LED，最后将整个组件从原始晶圆上移除，并转移至新的显示基底。
与传统Micro LED与晶体管在同一晶圆上生长的单片式制造方法不同，Smartkem的新专利技术采用“选择性移除”Micro LED的方式，使得晶圆可以被多次重复利用，由此带来的制造成本远低于一次性使用整片晶圆的传统方式。

资料显示，Smartkem是一家英国的有机薄膜晶体管（OTFT）材料开发商。2024年5月，Smartkem曾首次展示了基于其专有OTFT材料的Micro LED显示屏样品。该样品为96x96像素的Micro LED阵列，采用蓝宝石衬底，通过Smartkem材料进行平面化处理，并利用光刻、蚀刻、溅射及金属层图形化工艺实现Micro LED的阴阳极接触，以生成显示效果。

今年1月，Smartkem宣布，已完成首次向合作伙伴上海芯元基半导体（Chip Foundation）出售TRUFLEX®半导体材料，双方将采用这些材料共同开发用于液晶显示器的新一代Micro LED背光技术。（LEDinside整理）

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