Micro LED前瞻技术:QMAT改良基板提升制程效率

LEDinside Micro LED前瞻技术论文征集比赛中,各家厂商跟学者都针对Micro LED技术发展的不同面向提出解决方法。除了巨量转移与全彩化的技术外,Micro LED的背板也是技术突破的重要关键。

获得优选的美国新创公司QMAT,便聚焦于Micro LED的基板技术。其获选论文Engineered Substrates for High Efficiency Micro LEDs and Commercialized High Volume Manufacturing Production指出其EpiMax基板制造技术,能有效率提升Micro LED的制作效率,减少有机金属化学气相沉积法(MOCVD, Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的作用时间,并强化Micro LED的制造质量及效率,加速商业化进程。

论文作者: Philip Ong, QMAT

论文作者:Dong Lee, QMAT

QMAT的论文强调,使用氮化镓GaN作为MOCVD的基础层,能够强化设备的作用效率,并减少电流密度操作点的变异性。此外,QMAT的层次转移技术,能将目标基板设计成跟磊芯片转移前的基板一样,因此磊芯片能够被充分利用。

来源: QMAT

QMAT基板技术的优势在于能够强化设备性能,降低基板成本,还能减少MOCVD作用时间。同时,基板本身可以直接做为转移底座,并且整合雷射剥离技术层(Laser-Lift-Off)进行后续切除。

针对QMAT所提出的基板技术,交通大学光电研究所的评审认为,QMAT的EpiMax基板能够直接用于测试跟转印的设计,在Micro LED制程上相当具有优势。而台湾工研院CIMS联盟则认为,QMAT的基板能用于雷射剥离技术,降低LED晶粒的缺陷,有助于后续制程。

原文:Engineered Substrates for High Efficiency Micro LEDs and Commercialized High Volume Manufacturing Production

【推荐阅读】

Micro LED显示屏全彩化技术:以量子点为基础
Micro LED前瞻技术:无需巨量转移的量产技术

 

 

如需转载,需本网站E-Mail授权。并注明"来源于LEDinside",未经授权转载、断章转载等行为,本网站将追究法律责任!E-Mail:service@ledinside.com

如需获取更多资讯,请关注LEDinside官网(www.ledinside.cn)或搜索微信公众账号(LEDinside)。

RSS RSS  print 打印  mail 分享  announcements 在线投稿
Share
【免责声明】
1、「LEDinside - 中国LED在线」包含的内容和信息是根据公开资料分析和演释,该公开资料,属可靠之来源搜集,但这些分析和信息并未经独立核实。本网站有权但无此义务,改善或更正在本网站的任何部分之错误或疏失。
2、任何在「LEDinside - 中国LED在线」上出现的信息(包括但不限于公司资料、资讯、研究报告、产品价格等),力求但不保证数据的准确性,均只作为参考,您须对您自主决定的行为负责。如有错漏,请以各公司官方网站公布为准。
【版权声明】
「LEDinside - 中国LED在线」所刊原创内容之著作权属于「LEDinside - 中国LED在线」网站所有,未经本站之同意或授权,任何人不得以任何形式重制、转载、散布、引用、变更、播送或出版该内容之全部或局部,亦不得有其他任何违反本站著作权之行为。
×
×