韩国多建科技Dageon 蓝宝石基板设备供应商 因应4~6寸晶圆生产,提供成本优势解决方案

韩国多建科技Dageon 成立于2000年,董事长Mr. Son早先于 LG Silitron 拥有12年的工作经验,对于大部分的制造机器都必须要从国外进口,因此抱着致力于贡献蓝宝石基板市场发展,所以开始研发设计生产机器。

 

Dageon 在产品设计上,发展了一系列基板生产线的设备,用于蓝宝石基板市场发展,包含有全自动陶盘清洗机(Block Cleaner)、全自动陶盘晶片免下蜡清洗机(DMP Cleaner)、全自动上蜡机(Auto Mounter)、全自动下蜡机(Auto Demounter) 、Scrubber 、Spin Dryer等等。并拥有陶瓷盘清洗专利。看好4~6寸LED市场发展,Dageon 对于2014年相当看好全自动上蜡机(Auto Mounter)和全自动陶盘晶片免下蜡清洗机(DMP Cleaner)设备的市场应用。 全自动上蜡机(Auto Mounter) 包含圆盘装载、上蜡、卸载 ; 全自动陶盘晶片免下蜡清洗机(DMP Cleaner)设备包含圆盘装载、洗净清洁、卸载。

 

 

[图] 全自动陶盘晶片免下蜡清洗机(DMP Cleaner)

全自动陶盘晶片免下蜡清洗机为晶片钻石研磨液研磨后,使用高压水柱和化学药剂刷洗,来清洗蓝宝石基板表面的残留化学研磨液. 由于许多客户在大尺寸制程生产时,将原本CMP使用的Template方式改成贴蜡式,来达到更好的TTV和翘曲BOW的控制,此设备就成为DMP制程至 CMP制程的中段衔接清洗设备,须将钻石研磨液彻底做清洁,以防CMP制程时前段残留的钻石研磨液造成晶片研磨刮伤,所以DMP之后的清洁更是重要. 目前设备主要目标市场为4~6寸晶圆生产以上的客户,对于产品品质清洁有绝对提升效能。

 

[图] 自动上蜡机 (Auto Mounter)

对于LED市场发展,由于晶片厂商考虑到4~6寸蓝宝石基板品质及成本优势,因此Dageon同时自制研发销售4~6寸蓝宝石基板专用全自动上蜡设 备,自动化生产流程,从传送、上蜡、接合、烘烤、压合 ; 以485mm陶盘来计算产能,2寸一圈可贴23片(每月产能约6万片以上), 4寸一圈可贴10片(每月产能约5万片) , 6寸外圈可贴6片(每月产能约4万片),这对于后段研磨抛加工制程品质控制有绝对的效益,相对产能提升更能突显出来。

 

[图] 自动拆卸机 (Auto Demount)

将蓝宝石基板从DMP或CMP加工后的陶盘上,藉由陶盘加热,将液态蜡融化之后,进行晶片与陶盘分离的拆卸设备。

 

[图] 洗刷机(Auto Scrubber)

洗刷机为清洗蓝宝石基板表面粒子的设备。晶片从清洗、甩干、传送到Loader,由于不需使用化学药剂,只需使用DI Water,相当的节省成本。

目前上述各项机台皆有使用客户群,韩国客户包含LG Silitron、STA、Iljin、Hansol。中国客户则包含苏州海铂(Hyperion) 、重庆四联(SILIAN)、南晶京晶 (NJC)、贵州皓天(HTOT) 、华乐光电(Huale)等。因应未来市场4~6寸的发展,Dageon 仍持续提升设备技术,希望能提高生产速度和降低设备上耗材使用的成本,来满足更多LED蓝宝石上游生产制造的客户们。

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