SEMICON Taiwan: 设备开发商引领功率元件与光电产业发展

SEMICON Taiwan 2018于台北南港展览馆举行,可见到主要设备厂商,如Aixtron、VEECO、Kulicke & Soffa Pte Ltd、旺硅、Toray皆有参展,提供功率元件与光电产业先进市场方向。

主题一: GaN Power功率元件与5G RF Front End功率放大器

针对5G时代,营运商与设备商加紧脚步对于5G市场进行建设布局,加上电动车市场需求, RF Front- End功率放大器与GaN Power功率元件将成为下一明日之星。Aixtron与VEECO相继推出其对应机台,分别为AIX G5+C与Propel emPower GaN MOCVD,产品可以处理6英寸与8英寸晶圆片,具有高度均匀性、产能与装置效能。

主题二: VCSEL 3D感测与光达系统

VCSEL未来5-10年市场应用成长动能将着眼与3D感测与光达系统。3D感测应用于手机之中,除了可达到解锁、行动支付、结合APP软件开发,未来将有更多想象空间;光达可应用于车用感测、智能交通监控、测量、工业应用、无人机与扫地机器人等应用市场。Aixtron推出AIX G4-TM MOCVD已大量用于众多客户量产在线;而VEECO现阶段推出TurboDisc K475i? As/P MOCVD,大幅增加红外线市场应用。

主题三: Micro LED / Mini LED市场

Micro LED涵盖六大关键技术,包含磊晶与芯片设计、全彩化方案、检测、转移、修复、驱动与背板等。其中磊晶与芯片设计是所有技术最为关键之处。LED芯片厂商若能提供绝佳的芯片质量,将能大幅减少检测与修复上的成本。业界标准下,Micro LED芯片波长均一性须达到2nm。对应到市场需求上Aixtron推出AIX G5+C全自动化磊晶设备提供最佳性价比;VEECO则推出两款机台应市场需求,分别为Propel GaN MOCVD System系统与EPIK 868提供更好的营运成本 (Cost of Ownership) 。

因应Mini LED市场需求,Kulicke & Soffa与Rohinni合作共同开发PIXALUX?固晶机台。相较于展场其他LED固晶设备,PIXALUX以Mini LED(100微米x100微米的大小)?为例,其产出速度高达每小时18万颗,放置精准度高达±10μm。未来,Kulicke & Soffa将朝向更高速度与精度进行持续开发。

旺硅本次虽未展出相关Micro LED设备,然而因应Micro LED市场需求,在晶圆黏接(Wafer Bonding)的方案之下,旺硅研究开发检测机台,MPI C1机台在电极尺寸40x15μm都可进行旋光性与电性的检测,接受客户订购。(文:Joanne/LEDinside)

 

 

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