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面向光芯片、LED制造，中特微接近式光刻机即将交付

2026-10-12 11:57:39 [编辑：Akwan]
10月11日，成都双流经济开发区消息，中特微（成都）电子科技有限公司总装车间里，一批微米级接近式光刻机正完成最后组装与调试，这批国产光刻机将于11月初集中发往全国，流向光芯片、显示半导体、LED等领域的客户产线。
 
光刻机 LED
 
图片来源：成都双流经济开发区
 
中特微的技术班底源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院，公司成立不足五年便自主攻克UV-LED平行光源、双视场显微对位、视觉伺服精密运动控制三大核心技术。今年2月，公司将总部正式落户空港聚光光电产业园，建设了总装车间和黄光无尘环境测试车间。
 
光刻机是半导体设备国产化难题之一，对此，中特微没有选择高端EUV、DUV投影光刻路线，而是专注在近紫外接近式光刻与LDW激光直写光刻两个利基市场，主攻光显示、光芯片、先进封装等领域。
 
2023年，中特微率先实现4/6英寸接近式光刻机批量生产。目前，中特微的产品已供货国内数十家行业头部企业，在光显示细分市场的占有率约80%。值得一提的是，中特微据称是国内唯一在LED领域实现光刻机批量出货、并打入8英寸MEMS与光通信高端量产产线的国产设备厂商。
 
面向未来，中特微将推动产品升级换代和产能爬坡，预计明年产能达300台；另外，公司将启动面板封装激光直写光刻机研发，该产品落地后，公司将实现从晶圆级到面板级光刻机产品的全覆盖。（来源：成都双流经济开发区、LEDinside整理）
 
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