一期投资65亿元,晶镁光罩高端光掩膜版项目厂房封顶

“合肥高新发布”消息,6月9日,安徽晶镁光罩厂房及厂务项目主体结构实现封顶,比原计划提前三周完成节点目标。

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图片来源:合肥高新发布

该项目位于合肥高新区复兴路与火龙地路交口东南侧,一期总投资65亿元,总建筑面积约4.6万平方米,主要聚焦28nm及以上高端光罩的研发、生产与销售,规划建设高标准自动化产线,满产后月产能约3200片,预计2027年投产。

作为半导体、新型显示产业的核心上游材料,光罩是高端光电制造产业链中不可或缺的关键核心环节,直接决定产业产品精度与核心竞争力。例如,半导体光罩在Micro LED领域主要用于芯片外延、光刻图形转移及微结构加工,是实现高精度像素阵列与良率控制的关键工具。

项目建成后,将进一步完善合肥本地半导体产业链布局,强化高端光罩在关键制造环节的供应能力。下一阶段,项目将推进机电安装、洁净车间装修及厂务系统调试等工作,按计划推进投产目标。

晶镁光罩成立于2025年3月,由合肥晶合集成电路股份有限公司等多方共同出资设立,蔡国智任法定代表人,其同时担任晶合集成董事长,具备较丰富的半导体产业管理经验。

2024年,晶合集成实现安徽省首片半导体光刻掩模版生产并于同年10月实现量产。晶镁光罩承接了晶合集成转让的28nm及以上工艺节点相关技术,包含24项专利及73项专有技术,技术转让金额约2.77亿元,为其初期产能建设提供了技术基础。

2025年7月,晶镁光罩完成首轮战略融资,合计增资约11.95亿元,用于一期产线建设。投资方包括晶合集成、合肥国资平台及多家产业资本与投资机构。(集邦Display整理)

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