面对Micro LED外延量产难题,爱思强如何破解?

Micro LED技术的不断突破,终端企业对Micro LED加持等种种积极信号,都让LED显示行业对Micro LED的未来发展充满了信心。

TrendForce集邦咨询表示,看好Micro LED在头戴式的AR穿透式智能眼镜、穿戴式智能手表、车用智能驾驶座舱及透明显示产品的发展,预估Micro LED芯片产值将从2022年的1,400万美金,成长至2027年的12.4亿美金,年复合成长率达150%。

当下,Micro LED在上游外延材料制造环节仍面临不小的阻碍,若要进一步提升Micro LED外延的良率,降低生产成本,最终形成批量生产,MOCVD设备性能是关键。在2023年集邦咨询新型显示产业研讨会上,爱思强副总经理方子文博士就如何实现Micro LED外延量产进行了深入解析。

面对Micro LED外延量产难题,爱思强如何破解?

爱思强副总经理 方子文博士

Micro LED外延量产三大难题

方子文博士表示,如今Micro LED具有各式各样的转移方式,转移过程对Micro LED芯片良率有着严苛的要求,若上游的外延材料环节不能保持一个较高的良率,将会对Micro LED的后续制造带来较大生产成本影响,阻碍Micro LED量产进程。

若要保证外延片的良率,第一需要关注的就是缺陷密度,Micro LED外延片对缺陷密度较为严格,当缺陷控制在0.1/cm2以下时,外延生产良率才能够得到保证,生产成本随之也能得到控制。

第二是波长均匀性管理,方子文博士表示,要实现更好的均匀性,需更紧密的波长分布,目前行业大部分LED芯片厂商的分选波长范围在3~4nm,而对于Micro LED而言,分选波长范围应在2~4nm之间。传统的显示类芯片制造依赖于外延后的分选工艺,分选出高度波长集中度的芯片。此类生产流程由于芯片尺寸的下降,已经不适用于MicroLED的生产。适用MicroLED生产的MOCVD设备生产的外延片波长范围需直接控制在2~4nm以内,其中包括外延片内,片间,以及炉间产出的所有外延面积。

从保障外延片品质入手,提升Micro LED生产效率,降低生产成本外,应用更大尺寸的外延片也是Micro LED成本考量的关键。传统的LED行业普遍在4英寸,而Micro LED的生产工艺会扩大到6乃至8英寸,更大的衬底尺寸可以更好控制Micro LED的成本。

因此,为适应未来Micro LED的发展趋势,助力成本的快速下降,目前爱思强对于MOCVD设备的研发,均往可适配8英寸外延片生产去设计与考量。

虽Micro LED外延生产仍面临难点,但爱思强通过独有的外延生产技术与最新的MOCVD设备,为Micro LED的批量生产提供了一个可行的方案。

基于行星式反应技术,打造Micro LED外延量产设备

方子文博士介绍,爱思强的行星式反应技术(Planetary technology)结合了晶圆级控制和批量生产技术,可以最低成本获得高良率外延片。

具体而言,行星式反应技术采用了水平流模型,可更容易控制外延片的波长均匀性,为了让水平流模型有效控制多片外延片的生长,爱思强通过行星式反应器大盘公转、小盘自转的方式把水平流模型拓展到多片机中。爱思强的MOCVD设备从而可具有单片机的优质外延波长均匀性管理与缺陷优化,同时还具备多片机的生产成本优势。

基于行星式反应技术平台,爱思强打造了两款针对Micro LED生产的MOCVD设备:AIX G5+C以及今年初最新推出的G10-AsP。

  • AIX G5+C适配蓝绿光Micro LED生产

AIX G5+C可更好地兼容蓝绿光Micro LED的生产,设备采用了8x6英寸或5x8英寸的配置,适应各尺寸外延片生产。

对于波长均匀性问题,设备专有的行星式反应器平台,配备C2C自动卡匣晶圆传输技术,能够在外延过程中对薄膜表面温度进行晶圆级控制,精准控制铟与多量子阱(MQW)的融合,帮助外延片实现更好的波长均匀性。

设备可将蓝光外延片做到1.3nm的范围内,绿光则可以做到1.5nm,转换为4nm的情况下,产品良率可达到99.7%。方子文博士表示,AIX G5+C已可以做到一个稳定的波长数据,未来Micro LED外延的生产将全自动化,且生产结果统一,无需分选环节。

对于外延缺陷管理问题,搭载的原位清洁技术,和C2C晶圆自动化传输技术能够在外延片制作过程中确保无颗粒污染薄膜,降低缺陷密度。

  • G10-AsP针对红光Micro LED研发

针对红光Micro LED的量产,爱思强推出同属行星式反应技术平台的最新MOCVD设备产品G10-AsP,是业界首款全自动AsP平台。

设备同样配备C2C自动卡匣晶圆传输、原位清洁等技术,对6英寸以及处理难度更高的8英寸红光外延片均实现了优质的均匀性与缺陷管理。

成本方面也有明显的优化,作为一款全自动设备,除更换零部件外,G10-AsP基本无需任何维护,只要补给充足的外延制造材料,即可保持持续运作,实现外延片的批量生产,且相较上一代设备节省了30%以上的成本。

小结

对于Micro LED批量生产难题,爱思强给予了全新MOCVD设备方案,进一步优化外延片生产良率与成本,并已获得了LED企业的认可。

今年2月G10-AsP以及AIX G5+C设备已获得ams OSRAM的验证,用于生产基于8英寸的Micro LED产品。外延片;华灿光电则采用爱思强的AIX 2800G4-TM 和 AIX G5+ C 两款MOCVD设备,进行Micro LED显示技术的开发。

方子文博士表示,LED行业进入到Micro LED这一新兴市场,需要一个创新性的外延生产解决方案,爱思强对MOCVD设备的均匀性、重复性、缺陷管理以及生产成本管理进行了升级,并标配了自动化技术,企业可直接导入进行Micro LED的生产。未来,爱思强将继续攻坚Micro LED外延量产难题,助力Micro LED展现真正的价值。(文:LEDinside Irving)

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