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1月28日,山西省科技厅发布“2022年度山西省科技重大专项计划‘揭榜挂帅 ’项目中榜名单”中榜公告。
公告显示,中科潞安联合中国科学院半导体研究所、长治学院实施的“深紫外LED量产型金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)装备研发”项目成功入榜。
山西省科技重大专项计划是山西省科技计划体系中层次最高的科技项目,重点解决面向世界科技前沿、面向全省经济主战场、面向人民生命健康的重大科学问题和“卡脖子”技术、重大科技成果转化应用。原则上采取“揭榜挂帅”方式,面向国内外广泛征集优势科研团队挂帅揭榜攻关。
据悉,该项目聚焦第三代半导体外延设备研发和材料关键基础工艺验证等重大科学与技术问题,通过实现核心MOCVD装备的高端化和实用化,为生产宽禁带高质量半导体材料与高性能器件奠定基础。(综合来源:中科潞安、长治学院科研部)