爱思强BM 300在日本综合研究所成功投入应用

德国爱思强股份有限公司4月12日宣布,其BM 300系统在日本产业技术综合研究所(AIST)成功投入应用。该系统于2011年安装到AIST研究所设于筑波市的高级无尘室中,并由爱思强的当地服务支持团队进行调试。AIST研究团队的负责人佐藤信太郎(Shintaro Sato)博士在2012年4月10日的美国材料协会春季会议上,公布了实验生长结果。

“AIST成功在300mm的晶圆上生长出单分子层石墨烯,对于我们来说是一个重要的里程碑,”爱思强纳米技术设备总监Ken Teo博士表示,“BM 300是技术最为先进的石墨烯生产平台,拥有能够精准地输送前置物质成熟的气体输送系统、ARGUS原位晶圆热分布控制、高度均匀的晶圆加热器、自动化处理器等。在300mm的晶圆上实现高度可控且可重复的石墨烯沉积,是进行大规模的晶圆级石墨烯生产的必要步骤,并为新一代的半导体设施开发具有独特性质的石墨烯奠定了基础。”

佐藤博士带领AIST的团队将运用该系统沉积出限定层数的高质量石墨烯。这将是制造低电压CMOS FET加工技术的主要步骤,使其能够在低于0.3伏的电压下工作。

该项研究由世界领先创新科技研发资金计划(Funding Program for World-Leading Innovative R&D on Science and Technology,简称FIRST)投资,旨在鼓励先进科技研发,以增强日本的国际竞争力,并通过分享研究成果,为社会和人民的福祉作贡献。FIRST计划经日本政府内阁办公室的综合科学技术会议于2009年批准,由日本政府内阁办公以及日本学术振兴会共同运营。这次晶圆加工研究在AIST研究所合作研究团队的绿色纳米电子中心(Green Nanoelectronics Center)进行,属于FIRST 计划的“绿色纳米电子核心技术研发”项目(核心研究员:横山直树(Naoki Yokoyama)博士)的一部分。绿色纳米电子中心成立于2010年4月,由来自学术界以及工业界的研究员组成。
 

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