台新技术突破PSS瓶颈 良率接近100%

LED有许多制程,“图案化蓝宝石基板(PSS)”是其中之一,业界现以“黄光微影”技术处理PSS,产能有限,良率亦不理想。

台湾成功大学机械工程学系教授李永春带领团队开发出全新的“软性光罩微影”技术,良率几乎百分之百,克服业界头疼的量产、良率等问题。业界看好此技术前景,与该团队合作,希望以“软性光罩微影”关键技术与元件,支援下一世代LED产业的发展,并进军韩国、大陆、日本的PSS市场。

李永春教授表示,LED采用的蓝宝石基板硬度极高,在讲究LED高发光效率的要求下,必需在基板上做出极微小、细密的图案结构,才能有高的发光效率。5年前业界采用玻璃光罩技术,但硬式玻璃光罩与基板的贴合度不佳,很难在基板上做出细腻的图案与结构。后来改用投射式黄光微影技术与步进式曝光机台,但此技术适合处理半导体产业中小面积与个别图形的曝光,用于LED-PSS大面积为结构的曝光时,会有费时、费工、图形接缝、光学失焦…等问题,且量产效率低,良率亦不甚理想。

李永春教授指出,软性光罩微影技术,以软性材质覆于蓝宝石基板上,没有昔日玻璃光罩技术的硬碰硬、做不出细腻结构的问题,也没有黄光微影只适合小面积曝光的困扰。以软性光罩微影技术做出的PSS,有效的克服上述两个问题,而且过程极为稳定。李永春教授说,现行的黄光微影技术,要在PSS上做出高解析度的小型图案,以6寸大小的产品为例,1小时只能做4、5片,而且还有良率不理想的问题,估计1小时生产的可用品约2片,若改采用软性光罩处理技术1小时可做4、50片,也没有良率的问题,至于代工费用,采用黄光微影制程1片约80至100美元,改用软性光罩处理技术可以降低约一半的制程成本。

李永春教授强调,成大开发的软性光罩微影技术,不只革命性的克服了业界长期以来生产PSS的大瓶颈,还有一层极重大的义意——技术自主。李永春教授表示,目前业界已纷纷打探软性光罩微影技术,预定明年初的第一季即可问市,估计一到两年后业界就会大举跟进。(责编:Nicole)

 


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