中晟首台ProMaxy®MOCVD设备顺利通过客户评估验收

中晟光电设备(上海)有限公司的首台大规模生产型LED MOCVD设备ProMaxy®已于2013年6月在江苏汉莱科技有限公司顺利通过生产评估验收。

中晟于2012年12月12日成功发运了首台大型国产MOCVD设备给汉莱科技有限公司。经过2个月的实际工作时间,中晟先后完成了设备安装、硬件测试和外延工艺达标验收;汉莱科技有限公司在设备交付后的3个月内,按大规模外延生产的要求,首先对中晟设备进行了各项设备性能和外延工艺的测试和验证;然后根据中晟设备的特点,调试和优化了汉莱自己的外延工艺和LED性能。在此基础上,汉莱科技有限公司对中晟设备又进行了外延量产的可靠性、稳定性、和重复性等各方面的评估。在关键的性能指标中,验收报告显示中晟ProMaxy® 单腔产能2英寸66片,两腔系统产能132片,四腔系统即可达264片;蓝光片内波长均匀性<1.5nm,炉内片间均匀性<2.5nm,炉间波长重复均匀性<2nm;非掺氮化镓的迁移率607cm²/Vs。

通过以上综合验证与评估,基于各项性能均达到或超过验证与评估的指标,例如,单片外延生产成本和提高光效(155lm/W,1023规格的蓝光芯片),汉莱科技有限公司于2013年6月18日签署了最终验收报告,确认评估合格并验收通过。

中晟首台MOCVD设备ProMaxy®通过客户和市场的验证标志着在实现中国大型MOCVD设备国产化战略目标的征途上,中晟又迈出了具有里程碑意义的一步。
 

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