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ASML与荷兰应用科学研究院共建光芯片产线

2026-06-25 11:25:01 [编辑：Akwan]
6月24日，光刻设备巨头ASML与荷兰应用科学研究组织（TNO）宣布达成战略合作，双方将围绕TNO在埃因霍温高科技园区建设的光芯片试验生产线展开深度协作，共同推进欧洲光芯片从研发走向规模化制造。
 
 
图片来源：拍信网正版图库
 
值得关注的是，这条产线是全球首个面向6英寸磷化铟晶圆的光芯片代工厂，其开工仪式此前已吸引欧盟委员会执行副主席及荷兰多位部长级官员出席，总投资额约1.53亿欧元，该工厂是欧盟芯片法案下的战略部署项目，也是泛欧PIXEurope联盟的关键组成部分。
 
该产线的核心目的在于打通实验室与晶圆厂之间的断层。TNO将负责前五年的运营，通过把研发与可扩展生产紧密结合，将芯片制程从4英寸提升至6英寸，从而提升制造效率。
 
产线面向的应用场景涵盖新一代低能耗AI数据中心、6G网络、医疗诊断和超级计算机。TNO首席执行官表示，这是首次建设工业级中试线，将强化荷兰在欧洲半导体版图中的地位，帮助企业更快、更高效地实现光子技术规模化。
 
该项目由TNO、埃因霍温理工大学、PhotonDelta、SMART Photonics及埃因霍温高科技园区共同推进，预计初期将创造约40个高端技术岗位。
 
在这一框架下，ASML将以分阶段方式向该试验线提供深紫外及i线光刻设备，并配套输出工艺控制与量测解决方案。ASML高级副总裁指出，光芯片技术要实现规模化，必须完成从尖端研究到大批量制造的无缝衔接，将光刻系统整合进TNO的试验线正是为了弥合这一断层，并为优化工艺提供理想场景，从而加速该技术的上市进程。
 
值得注意的是，除了硬件制造，目前，TNO还在与多个高校及单位开展光子技术落地研究。TNO正联合埃因霍温理工大学、特温特大学及产业伙伴，通过光子集成技术中心将前沿设计转化为可落地的应用方案。
 
此外，比利时微电子研究中心imec与TNO也在埃因霍温高科技园区联合启动了Holst Centre光子学实验室，将imec在片上激光器开发、系统测试等领域的专长，与TNO在激光表征、自由空间光学及光芯片集成方面的优势相结合，覆盖从早期研究到市场应用的全创新链条，进一步推动荷兰光子生态系统的成熟。
 
在人工智能算力需求激增的背景下，光芯片凭借高速率、低能耗、抗电磁干扰等特性，被视为突破传统电芯片带宽与功耗瓶颈的重要路径。TNO正在积极推动光芯片技术的研究，随着此次与ASML联手，TNO将加快推动欧洲构建自主可控的光芯片制造能力，力图在全球光互连与下一代计算技术的竞赛中抢占先机。（来源：集邦光通信整理）
 
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