eLux安装新型巨量转移工具,降低Micro LED生产成本

4月19日,美国Micro LED巨量转移关键技术厂商eLux宣布在台湾地区的Micro LED原型工厂安装了一款新型自动流体组装工具,可实现对10个15英寸的显示面板进行全自动卡匣式流体组装。

新型流体组装工具能够最大程度降低Micro LED巨量转移制程的成本,并且容量可扩展,能够再添加两个额外的模组。

自动流体组装工具

eLux已采用这款新工具生产出一个12.3英寸的Micro LED显示器,搭载了518400颗GaN Micro LED,10分钟内完成组装,换言之,相当于转移速度为每小时310万颗Micro LED。

此外,组装、清洁、重复利用及烘干等每个环节都经过自动检测,以优化产量,提高良率。

12.3英寸Micro LED显示器

eLux表示,该Micro LED显示器的自然良率达99.987%,518400颗Micro LED中,缺陷的有34颗,其中33颗可通过激光雷射(Laser)修复。这意味着eLux的Micro LED生产良率正在接近百万分之一,也接近商业电视厂商所要求的质量水平。除此之外,结合检测和选定等工艺,缺陷率有机会进一步降低。

据介绍,eLux独有的流体组装工艺,能够将Micro LED转移至目标基板上。具体而言,是以液体为载体,将Micro LED芯片运送至TFT背板上每个像素当中预留的位置,转移过程会使用比像素数量更多的Micro LED,组装后多余的Micro LED及流体可反复回收利用。

经由Micro-PL及制程缺陷光学检测,仅将Micro LED良品收集至液体中。与最常见的取放及雷射转移方案相比,耗材使用较少且成本较低。在转移设备上及转移过程上,eLux流体组装设备不需要精密的对位控制,因此设备建置成本相对低廉。

据了解,eLux成立于2016年,是从美国夏普实验室分拆出来的初创公司,致力于推动Micro LED生产技术的商用化。2016年,鸿海集团入主夏普,并在2017年成为Micro LED新创公司eLux的大股东。

2019年,eLux与鸿海集团在Micro LED显示器研发方面取得了突破。当时,eLux向LEDinside展示了12英寸全彩化Micro LED显示器。

这款显示器采用主动式LTPS背板驱动方案,像素密度为42 PPI,显示亮度为1,000 nits以上。eLux表示,已突破以往单色显示技术门槛,可实现RGB全彩化显示,并搭配自家独特的流体组装方案,大幅减少制造成本。

业界皆知,巨量转移技术是Micro LED生产过程中最大的瓶颈问题之一,巨量转移制程的效率和良率问题对于整个生产环节来说至关重要。

现价段,巨量转移技术包括流体组装、静电吸附+相变化转移、凡得瓦力转印、电磁力转移、顶针对位转移、激光转移、滚轴转写等不同方式,可应对不同的客户需求。

如eLux所言,流体组装方式可以解决Micro LED外延片波长不均匀的问题,避免显示屏出现马赛克现象,有效提升了Micro LED外延片的利用率,降低制造成本。因此,在推进Micro LED商业化量产的道路上,流体组装方式不失为一个较佳的选择。当然,其他转移技术也在不断改良和突破中,于Micro LED产业而言,都是利好消息。(文:LEDinside Janice)

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