助力深紫外LED量产,中微半导体推出最新MOCVD设备

昨(30)日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)宣布推出Prismo HiT3™ MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。

据介绍,中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3™ 是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备,反应腔最高温度可达1400度,具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计,单炉可生长18片2英寸外延晶片,并可延伸到生长4英寸晶片。

此外,该设备具有新颖的腔体设计,能在高温环境下生长高质量氮化铝工艺,并具有业内领先的深紫外LED高产出率;同时具备较长的平均免开腔维护间隔时间,进一步延长正常运行时间并提高产能。真空自动化传输系统可以抑制颗粒物的产生,并减少缺陷。自动化升降机构可方便维护操作并有效节省维护时间。

 

中微公司表示,Prismo HiT3™ MOCVD设备早期的客户包括国内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰生半导体有限公司,该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。

深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通过破坏细菌和病毒的DNA使其丧失繁殖能力来发挥作用。深紫外LED被用于不同波长的杀菌灯中,且与传统的汞灯相比对环境无污染。类似SARS、MERS和新冠病毒的出现使得深紫外LED产品的需求激增,深紫外LED产品可以消灭这些新生微生物。波长260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前该领域最先进的技术解决方案(例如杰生半导体的深紫外LED产品)。(来源:中微半导体设备)

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