据报道，国内半导体设备厂商中晟光电设备（上海）股份有限公司（以下简称“中晟光电”）已针对深紫外LED应用推出了新的MOCVD技术和机型，进一步降低设备成本、提高产能。
资料显示，中晟光电成立于2011年5月，总部位于上海浦东张江高科技园区，专注于研发和生产用于制造LED、第二/三代半导体元器件的MOCVD设备，是国内少数拥有自主核心技术的MOCVD制造企业之一。而且，据人民网报道，中晟光电曾与中微公司一同在LED照明领域打破了德国爱思强和美国Veeco对中国市场的长期垄断。
2016-2017年，中晟光电与国内深紫外LED领先厂商杰生半导体共同开发和产业化国内首台深紫外MOCVD设备——ProMaxy® UV，该设备已成为2020年以来深紫外LED技术研发和产能扩充的主要机型之一。近日，半导体产业网消息称，中晟光电深紫外MOCVD设备取得了新的突破。
图片来源：中晟光电
据悉，随着深紫外LED应用的不断拓展和推广，市场对深紫外LED产品的功率转换效率、良率及生产成本等提出了更高的要求。从外延环节来看，针对深紫外LED外延生长AlN（铝氮）的材料晶体质量、表面形貌特征及裂纹控制等都对提高功率转换效率和良率有着重大的影响，而MOCVD设备作为外延技术的核心设备，也需要通过不断升级来满足更高的要求。
为此，中晟光电在ProMaxy® UV自主创新的核心技术基础上，进一步创新和优化了反应腔的温场控制、反应气体的传输及均匀分布等技术，建立了既可外延生产高质量的AlN基板，又能扩大产能（至少15x2）、降低生产成本的新型MOCVD核心技术。
同时，为进一步降低设备成本和提高产能，中晟光电于还推出了可配置4个反应腔的ProMaxy® UV的机型。该机型既可每腔独立外延生产深紫外LED全结构，也能分腔集成外延生产AlN基板和LED结构。
目前，杰生半导体已拥有4台中晟光电的深紫外MOCVD设备，用于大规模生产外延产品，应对医疗杀菌消毒、白色家电、水净化等深紫外LED应用的需求。杰生半导体表示，采用中晟光电新的MOCVD技术和多腔配置的机型，可获得满足大规模生产所需的高质量 AlN 基板，同时还显著提高了产能，降低了外延生产成本。
据悉，除了杰生半导体之外，国内还有多家客户已采用了中晟光电新的MOCVD技术，获得了高质量、低成本的AlN基板，具体优势如：表面特征 Rq<0.5nm，边缘裂纹控制在<2mm。中晟光电表示，未来将通过持续的创新推出新的解决方案，以满足深紫外LED技术发展和大规模生产不断增长的需求。
另值得关注的是，中晟光电近几年来逐渐扩大对第三代半导体MOCVD设备领域的投资力度。2020年，中晟光电的第三代半导体GaN分立器件用ProMaxy® PD设备就已进入市场评估验证阶段。同年8月，中晟光电获得由上海浦东科创集团有限公司领投的1.13亿元资金，用于研发和生产第二/三代半导体分立器件高端设备。
无论是深紫外LED应用，还是第三代半导体应用，中晟光电已获得了资本市场和应用端的认可与支持，今后可望基于自主核心技术的MOCVD设备体系，通过创新研发实力的增强以及融资能力的提高，助推MOCVD设备的国产化替代。（LEDinside Janice整理）
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