三星电子公司同意投资欧洲最大半导体设备制造商荷兰艾司摩尔（ASML）7.79亿欧元（9.74亿美元），继英特尔和台积电行列之后收购艾司摩尔股权，以取得未来技术。
艾司摩尔27日宣布，三星将以5.03亿欧元收购艾司摩尔3%无投票权股权，入股条件与其他计划参与者相同，三星也将另外投资2.76亿欧元在新一代微影技术的研发。艾司摩尔说：“三星电子已加入客户共同投资创新计划，承诺未来5年对本公司新一代微影技术的研发，贡献2.76亿欧元。”
艾司摩尔说，三星加入后，公司7月宣布所谓的共同投资计划就此完成，艾司摩尔将不再征求其他客户的参与。
根据这项共同投资计划，英特尔、台积电和三星同意现金收购艾司摩尔合计23%的少数股权，收购金额合计为38.5亿欧元，让艾司摩尔达到筹措13.8亿欧元研发资金的目标。英特尔率先加入这项投资计划，同意以25亿欧元取得艾司摩尔15%股权，并提供8.3亿欧元研发资金。台积电本月稍早宣布将投资2.76亿欧元发展新技术，并以8.38亿欧元收购5%无投票权股权。
艾司摩尔则将加速发展极紫外光（EUV）技术，这项技术将有助缩小芯片尺寸，同时能提升用于手机、平板电脑等装置的芯片功能与速度。
艾司摩尔也计划投资开发可生产直径450毫米、而非标准直径300毫米的矽晶圆，提高每一晶圆芯片数，可望降低30%到40%的成本。
