华林嘉业PSS设备在十二五出台之际正式投入市场

北京华林嘉业科技有限公司(简称CGB公司),其CGB-BL系列全自动高温湿法蚀刻设备(Patterned Sapphire Substrate 即图形化蓝宝石基板,简称PSS设备),在大陆出台十二五之际,成功投入市场。

该公司致力于微电子集成电路、半导体材料、半导体照明LED、有机发光二极管OLED、光伏太阳能、LCD-TFT 液晶等行业领域。PSS技术,不仅可以有效的减少差排密度,还可提升光取出效率。

PSS对均温性要求极为严格,工作温度区间介于280至300℃,温度误差要求±1℃,温度精度误差要求±0.1℃。至于侧蚀均匀度有三个重要指标:Wafer本身、Wafer to Wafer及 Run to Run均需在正负3%。

目前,CGB-BL系列全自动高温湿法蚀刻设备目前已有某台资企业採购使用,设计清洗规格为2 inch ,2cassette/Batch, 25 Pcs/cassette;4 inch,1 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;6 inch,1 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;热酸排放工艺10min左右完成,加热模组可加热至600℃;全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高,并可选配进口自动灭火系统;分体式CDS自动供液系统;尾气 Scrubber系统;近期已有20餘家意向客户参观指导。

CGB-BL系列湿法清洗设备,在LED行业的切、磨、拋、及外延(磊晶)等各道工艺,CGB均有着非常成熟的设备研发制造经验。该公司计划在2011年将CGB2011-10第二代高温湿法工艺设备以及相关配套的第三代乾燥设备推向市场。

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